氣泡與包裹體檢測儀
氣泡與包裹體數(shù)字化檢測系統(tǒng)主要用于光學材料內部氣泡與包裹體等缺陷的定位與定量檢測，可實現(xiàn)直徑不小于10μm氣泡與包裹體的數(shù)字化檢測與分析能力。
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氣泡與包裹體數(shù)字化檢測系統(tǒng)主要用于光學材料內部氣泡與包裹體等缺陷的定位與定量檢測，可實現(xiàn)直徑不小于10μm氣泡與包裹體的數(shù)字化檢測與分析能力。
優(yōu)勢：
1、檢測靈敏度高：不大于10μm的氣泡及包裹體；
2、全口徑范圍內原位測量分辨率：優(yōu)于1μm；
3、檢測口徑大，可檢測元件尺寸不小于500mm×500mm×100mm；
設備主要規(guī)格參數(shù)
序號 | 技術指標名稱 | 技術指標參數(shù) |
1 | 最大檢測口徑 | 500mm×500mm×100mm |
2 | 檢測靈敏度 | ≤10μm |
3 | 檢測誤差 | 相對標稱值不大于10% |
4 | 定位誤差 | ≤0.5mm |
5 | 掃描重復定位精度 | ≤5μm |
6 | 檢測速度 | ≤20分鐘（通光口徑430mm×430mm） |
7 | 全口徑范圍內原位測量分辨率 | 優(yōu)于1μm |
8 | 面照明下單次成像口徑 | ≥50mm×50mm |
9 | 全口徑三維大視場面成像層析厚度 | 全口徑三維大視場面成像層析掃描，深度層析最小厚度達到1mm，且根據測量需要深度層析厚度在1mm~5mm范圍內可調 |
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無
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