激光球面干涉儀,采用相移技術(shù)準(zhǔn)確表征被測(cè)表面的三維形貌,適合車(chē)間、實(shí)驗(yàn)室大批量球面透鏡的快速檢驗(yàn)。
激光球面干涉儀,采用相移技術(shù)準(zhǔn)確表征被測(cè)表面的三維形貌,適合車(chē)間、實(shí)驗(yàn)室大批量球面透鏡的快速檢驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品系列 |
激光球面干涉儀 |
有效通光口徑 |
φ25-60mm |
移相方式 |
靜態(tài)條紋 |
空腔指標(biāo) |
球面鏡頭 PV ≤ λ/10,λ=632.8nm |
重復(fù)精度測(cè)量 |
/ |
標(biāo)準(zhǔn)鏡材料 |
球面鏡頭采用石英材料,面型精度均≤ λ/10,λ=632.8nm |
測(cè)量方式 |
菲索干涉原理 |
激光源 |
氦氖激光器,λ=632.8nm |
電源 |
AC220V 50HZ |
標(biāo)準(zhǔn)配件 |
計(jì)算機(jī)及條紋監(jiān)視軟件 |