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氣泡與包裹體檢測儀

氣泡與包裹體檢測儀

氣泡與包裹體數(shù)字化檢測系統(tǒng)主要用于光學材料內(nèi)部氣泡與包裹體等缺陷的定位與定量檢測，可實現(xiàn)直徑不小于10μm氣泡與包裹體的數(shù)字化檢測與分析能力。

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氣泡與包裹體數(shù)字化檢測系統(tǒng)主要用于光學材料內(nèi)部氣泡與包裹體等缺陷的定位與定量檢測，可實現(xiàn)直徑不小于10μm氣泡與包裹體的數(shù)字化檢測與分析能力。

優(yōu)勢：

1、檢測靈敏度高：不大于10μm的氣泡及包裹體；

2、全口徑范圍內(nèi)原位測量分辨率：優(yōu)于1μm；

3、檢測口徑大，可檢測元件尺寸不小于500mm×500mm×100mm；

 

設(shè)備主要規(guī)格參數(shù)

序號

技術(shù)指標名稱

技術(shù)指標參數(shù)

     1 

最大檢測口徑

500mm×500mm×100mm

     2 

檢測靈敏度

≤10μm

     3 

檢測誤差

相對標稱值不大于10%

     4 

定位誤差

≤0.5mm

     5 

掃描重復定位精度

≤5μm

     6 

檢測速度

≤20分鐘（通光口徑430mm×430mm）

     7 

全口徑范圍內(nèi)原位測量分辨率

優(yōu)于1μm

     8 

面照明下單次成像口徑

≥50mm×50mm

     9 

全口徑三維大視場面成像層析厚度

全口徑三維大視場面成像層析掃描，深度層析最小厚度達到1mm，且根據(jù)測量需要深度層析厚度在1mm~5mm范圍內(nèi)可調(diào)

 


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